臭氧分析儀是采用紫外線吸收法的原理，用穩定的紫外燈光源產生紫外線，用光波過濾器過濾掉其它波長紫外光，只允許波長253.7nm通過。經過樣品光電傳感器，再經過臭氧吸收池后，到達采樣光電傳感器。通過樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號比較，再經過數學模型的計算，能得出臭氧濃度大小。
臭氧分析儀主要由低壓紫外燈、入射紫外光反射器、光波過濾器、臭氧吸收池、采樣光電傳感器、樣品光電傳感器、輸出顯示、電路部件構成。是根據LambertandBeer定律推出的。在這個臭氧濃度計算公式中，只要知道樣品電流、采樣電流和臭氧吸收池距離，那么我們可以計算出臭氧濃度大小。由于臭氧吸收池的距離的限制，大臭氧濃度只能測到300O3g/m。
臭氧分析儀的檢測步驟：
1、開啟空調；確認風管有風吹入潔凈空間；
2、給臭氧發生器通入冷卻水；確定臭氧出氣口已用管道導入空調送風或回風管道；然后開啟臭氧發生器；正常開機時間一般為1小時。
3、臭氧濃度檢測儀的開機方法是：長按⊙健（約5秒鐘）；有顯示后放開；暖機時間為120秒；過了暖機時間可以檢測空氣中的臭氧濃度；臭氧濃度以數字形式顯示在檢測儀的顯示板上。臭氧濃度超過20ppm時臭氧分析儀會報警并閃光；大量程是100ppm
4、一般建議按時間段進入潔凈區檢測臭氧濃度；
臭氧發生器工作30分鐘后檢測；
臭氧發生器工作60分鐘后檢測；
如有必要則90分鐘及120分鐘再各檢測；
一般臭氧發生器工作30分鐘后能馬上檢測到臭氧濃度；
工常工作時間為1小時；
如果檢測不到臭氧濃度或偏低則要檢測臭氧是否有導入管道內或者臭氧是否有漏泄；
如果臭氧有漏泄則會導致臭氧濃度偏低；
如果檢測空氣中臭氧濃度過高則控制好的時間即可。
